PVD kaplama tekniği ile hazırlanan TiN ince filmlerin temel karakteristiklerinin incelenmesi

Kaya, Ahmet Uğur

dc.contributor.advisor	Bektöre, Yüksel
dc.contributor.advisor	Alanyalı, Hasan
dc.contributor.author	Kaya, Ahmet Uğur
dc.date.accessioned	2022-03-04T13:49:27Z
dc.date.available	2022-03-04T13:49:27Z
dc.date.issued	1998
dc.identifier.other	78248
dc.identifier.uri	http://dspace.kocaeli.edu.tr:8080/xmlui/handle/11493/14189
dc.language.iso	tur
dc.publisher	Kocaeli Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü
dc.rights	openAccess
dc.subject	Fiziksel buhar biriktirme
dc.subject	Physical vapour deposition
dc.subject	Kaplama
dc.subject	Coating
dc.subject	Sertlik
dc.subject	Hardness
dc.subject	Çelik-metal
dc.subject	Steel-metal
dc.subject	İnce filmler
dc.subject	Thin films
dc.title	PVD kaplama tekniği ile hazırlanan TiN ince filmlerin temel karakteristiklerinin incelenmesi
dc.title.alternative	Investigation of basic characteristics on TiN thin films obtaining from PVD coating technique
dc.type	masterThesis
dc.contributor.department	Fizik Ana Bilim Dalı
dc.identifier.endpage	81