Ark-FBB (ARC-PVD) tekniği ile titanyum nitrür (TiN) kaplanmış bakır yüzeylerin elektriksel özelliklerinin incelenmesi

Alp, Mert

dc.contributor.advisor	Tarcan, Erdoğan
dc.contributor.author	Alp, Mert
dc.date.accessioned	2022-03-07T06:50:24Z
dc.date.available	2022-03-07T06:50:24Z
dc.date.issued	2002
dc.identifier.other	128195
dc.identifier.uri	http://dspace.kocaeli.edu.tr:8080/xmlui/handle/11493/14651
dc.language.iso	tur
dc.publisher	Kocaeli Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü
dc.rights	closedAccess
dc.subject	Bakır
dc.subject	Copper
dc.subject	Buhar biriktirme
dc.subject	Vapour deposition
dc.subject	Elektriksel özellikler
dc.subject	Electrical properties
dc.subject	Titanyum nitrür
dc.subject	Titanium nitride
dc.subject	Öz direnç
dc.subject	Resistivity
dc.subject	İnce filmler
dc.subject	Thin films
dc.title	Ark-FBB (ARC-PVD) tekniği ile titanyum nitrür (TiN) kaplanmış bakır yüzeylerin elektriksel özelliklerinin incelenmesi
dc.title.alternative	Analysing of electrical properties of titanium nitride (TiN) films deposited by ARC-PVD on copper substrates
dc.type	masterThesis
dc.identifier.endpage	73