Fotolitografi işleminde UV sertleştirme parametrelerinin deney tasarımı ile eniyilenmesi

Aytekin, Fatma Gözde

dc.contributor.advisor	Baynal, Kasım
dc.contributor.author	Aytekin, Fatma Gözde
dc.date.accessioned	2022-03-07T11:00:58Z
dc.date.available	2022-03-07T11:00:58Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.other	372689
dc.identifier.uri	http://dspace.kocaeli.edu.tr:8080/xmlui/handle/11493/15453
dc.language.iso	tur
dc.publisher	Kocaeli Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü
dc.rights	openAccess
dc.subject	Endüstri ve Endüstri Mühendisliği
dc.subject	Industrial and Industrial Engineering
dc.subject	İstatistik
dc.subject	Statistics
dc.title	Fotolitografi işleminde UV sertleştirme parametrelerinin deney tasarımı ile eniyilenmesi
dc.title.alternative	UV hardening parameters optimization of photolitography process with design of experiment
dc.type	masterThesis
dc.contributor.department	Endüstri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
dc.identifier.endpage	73