Diferensiyel Fabry-Perot interferometresi ile nanometre-altı yer değiştirme ve nanoradyan açı ölçüm yöntemlerinin geliştirilmesi ve nanometroloji uygulamaları

Çelik, Mehmet

dc.contributor.advisor	Demir, Arif
dc.contributor.author	Çelik, Mehmet
dc.date.accessioned	2022-03-07T13:57:59Z
dc.date.available	2022-03-07T13:57:59Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.other	494765
dc.identifier.uri	http://dspace.kocaeli.edu.tr:8080/xmlui/handle/11493/15791
dc.language.iso	tur
dc.publisher	Kocaeli Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü
dc.rights	openAccess
dc.subject	Fizik ve Fizik Mühendisliği
dc.subject	Physics and Physics Engineering
dc.title	Diferensiyel Fabry-Perot interferometresi ile nanometre-altı yer değiştirme ve nanoradyan açı ölçüm yöntemlerinin geliştirilmesi ve nanometroloji uygulamaları
dc.title.alternative	Development of methods for sub-nanometer displacement and nanoradian angle measurents using differential Fabry-Perot interferometer and its' applications in nanometrology
dc.type	doctoralThesis
dc.contributor.department	Fizik Ana Bilim Dalı
dc.identifier.endpage	226