Kamusal dış denetim organlarınca özel teşebbüs faaliyetleri üzerinde gerçekleştirilen denetim süreci, bir anlamda, işletme faaliyetleri üzerinde gerçekleşen iç ve dış denetim hizmetleri arasında bir kesişim noktasını oluşturmaktadır. Özellikle işletme faaliyetlerinin vergi mevzuatına uygunluğu hakkında kamu otoritesince yapılan vergi denetimlerinin işletmelerin rekabet güçlerini aksatmayacak bir etkinlikte gerçekleştirilebilmesi, işletmelerin sağlıklı işleyen bir iç denetim sürecinin mevcut olup olmadığı ile yakından ilgilidir. Uygunluk denetimi, kapsamı en geniş denetim konularından birisi olmakla birlikte içerik sınırlandırma olanağının da bir o kadar mümkün olduğu denetim türüdür. İşletme faaliyetleri üzerinde yasal düzenlemelere uygunluk yönünden yapılacak bir iç uygunluk denetimi, dış denetim faaliyetleri öncesinde işletmenin karşılaşabileceği yaptırımlar hakkında işletme yönetimine "erken uyarı alma" imkanı sağlayacaktır. Uluslararası İç Denetçiler Enstitüsünce yayımlanan "Uluslararası İç Denetim Standartları Mesleki Uygulama Çerçevesi" ile "COSO İç Kontrol Entegre Çerçevesi" çalışmalarında uygunluk denetimlerinin önemine özellikle değinilmiştir. Teknolojide yaşanan gelişmeler yeni iş çözümleriyle birlikte yeni denetim olanaklarını da beraberinde getirmektedir. Gelişen bilgi depolama ve aktarma teknolojileri sayesinde işletmelerin muhasebe kayıtlarının elektronik ortamda tutulabilmesi ve finansal tabloların gerçek zamanlı bilgilere dayalı olarak anlık olarak hazırlanabilmesi mümkündür. Bilgi teknolojilerinde yaşanan gelişmeler işletmelerin üretim süreçlerini de yakından etkilemiş, imalat işlerinde "siber fiziksel otomasyon" süreçlerinin kullanımını yaygınlaştırmıştır. Bu çalışmada; işletmenin iç kontrol süreçlerinin Özel Tüketim Vergisi kapsamındaki kriterlere uygun olup olmadığı ele alınarak, imalat ortamında kullanılan endüstriyel kontrol sistemlerinin Özel Tüketim Vergisi kapsamında gerçekleştirilecek vergi denetimi faaliyetlerine güvence ve kanıt sunma olanakları değerlendirilmiştir
The Audit process which abaout the businnes activities by the public external audit is enable to evaluation the internal audit of enterprise. Especially, audit productivity of the external taxation accordance process, depends on organized and accomplished internal audit form of the enterprise. Compliance auditing activities are the most comprehensive auditing kind and also posible to limiting auditing theme easily. An internal compliance auditing which performed concerning businnes activities within the framework of legal obligations allow early warnings to businnes administration. Additionally, importance of compliance audits is emphasized in "İnternal Auditing Standartds – Professioanl Practis Framework" and "İnternal Control İntegrated Framawork" which are the most important edit to content internal auditing. Developments in technology bring new audit possibilities along with new busines solutions. Thanks to developing information storage and transfer Technologies, the accounting records of businesses can be kept electronically and their financal statements can be prepared instantly, based on "real – time" information. These developments in information Technologies have closely affected the manufacturing processes of enterprises, and have spread the use of "cyber-pyhsical automation" systems in manufacturing processes. In this thesis study; whether the internal control processes of the enterprise are compatible with the transactions carried out within the scope of Special Consumption Tax was discussed. And also; the possibilities of providing assurance and evidence fort he tax audit activities to be carried out within the scope of Special Consumption Tax of "cyber pysical systems" used in manufacturing processes were evaluated.